Inscriere cercetatori

Site nou !

Daca nu va puteti recupera parola (sau aveti alte probleme), scrieti-ne la pagina de contact. Situl vechi se gaseste la adresa old.ad-astra.ro

Facebook

Sensitivity analysis of grating parameter estimation

Domenii publicaţii > Fizica + Tipuri publicaţii > Articol în revistã ştiinţificã

Autori: P.C. Logofatu

Editorial: Applied Optics, 41, p.7179-7186, 2002.

Rezumat:

Cuvinte cheie: scaterometrie, optimizare de sensibilitate, retele de difractie, scanare unghiulara // scatterometry, sensitivity optimization, angular scanning, gratings

URL: http://www.opticsinfobase.org/ao/abstract.cfm?uri=ao-41-34-7179