Inscriere cercetatori

Site nou !

Daca nu va puteti recupera parola (sau aveti alte probleme), scrieti-ne la pagina de contact. Situl vechi se gaseste la adresa old.ad-astra.ro

Facebook

Ultrahigh-resolution pattern using electron-beam lithography HF wet etching

Domenii publicaţii > Fizica + Tipuri publicaţii > Articol în revistã ştiinţificã

Autori: R. Tiron, L. Mollard, O. Louveau, E. Lajoinie

Editorial: J. Vac. Sci. Technol. B , 25, 2007.

Rezumat:

Cuvinte cheie: HSQ, ebeam lithographie