Inscriere cercetatori

Site nou !

Daca nu va puteti recupera parola (sau aveti alte probleme), scrieti-ne la pagina de contact. Situl vechi se gaseste la adresa old.ad-astra.ro

Facebook

Alternative high-k dielectrics for semiconductor applications

Domenii publicaţii > Chimie + Tipuri publicaţii > Articol în revistã ştiinţificã

Autori: S. Van Elshocht, C. Adelmann, S. Clima, G. Pourtois, T. Conard, A. Delabie, A. Franquet, P. Lehnen, J. Meersschaut, N. Menou, Mihaela Popovici, O. Richard, T. Schram, X. P. Wang, A. Hardy, D. Dewulf, M.K. Van Bael, T. Blomberg, D. Pierreux, J. Swerts, J

Editorial: Journal of Vacuum Science and Technology B, 27 (1) , p.209-213, 2009.

Rezumat:

Cuvinte cheie: high-k dielectrics