Inscriere cercetatori

Site nou !

Daca nu va puteti recupera parola (sau aveti alte probleme), scrieti-ne la pagina de contact. Situl vechi se gaseste la adresa old.ad-astra.ro

Facebook

Sr excess accommodation in ALD grown SrTiO3 and its impact on the dielectric response

Domenii publicaţii > Chimie + Tipuri publicaţii > Articol în revistã ştiinţificã

Autori: S. Clima, G. Pourtois, N. Menou, Mihaela Popovici, A. Rothschild, B. Kaczer, S. Van Elshocht, X.P. Wang, J. Swerts, D. Pierreux, S. De Gendt, D.J. Wouters, J.A. Kittl

Editorial: Microelectronic Engineering, 86 (7-9), p.1936-1938, 2009.

Rezumat:

Cuvinte cheie: high-k dielectrics