Scopul nostru este sprijinirea şi promovarea cercetării ştiinţifice şi facilitarea comunicării între cercetătorii români din întreaga lume.
Domenii publicaţii > Stiinte ingineresti + Tipuri publicaţii > Articol în volumul unei conferinţe
Autori: Samir Derrough, Raluca Tiron, and Claire Sourd, Damien Perret, James W. Thackeray, Patrick Paniez
Editorial: Proc. SPIE, 7639, p.763937, 2010.
Rezumat:
Cuvinte cheie: 193 nm lithography, resist deprotection