Inscriere cercetatori

Resist evaluation for contact hole patterning with thermal flow process

Domenii publicaţii > Fizica + Tipuri publicaţii > Articol în volumul unei conferinţe

Autori: R. Tiron, C. Petitdidier, C. Sourd, D. De Simone, G. Cotti, E. Annoni, and B. Mortini

Editorial: Proc of SPIE, 2007.

Rezumat:

Cuvinte cheie: resist thermal reflow