Cercetarea se refera la operatia de lepuire pe ambele fete simultan ca operatie de finisare a mono-cristalului de silicon. Articolul se concentreaza asupra operatiei de lepuire pe ambele fete simultan ca o operatie ultra-precisa in cadrul tehnologiei de prelucrare a siliconului. Lepuirea pe ambele fete simultan este una dintre operatiile critice aplicate siliconului. Operatia combina rotatia unei roti inferioare, a unui dispozitiv port-piesa si a