Inscriere cercetatori

Site nou !

Daca nu va puteti recupera parola (sau aveti alte probleme), scrieti-ne la pagina de contact. Situl vechi se gaseste la adresa old.ad-astra.ro

Facebook

Resist and BARC outgassing measured by TD-GCMS: investigation during the exposure or the bake steps of the lithographic process

Domenii publicaţii > Fizica + Tipuri publicaţii > Articol în volumul unei conferinţe

Autori: R. Tiron, C. Sourd, H. Fontaine, S. Cetre, B. Mortini

Editorial: Proc of SPIE, 2007.

Rezumat:

Cuvinte cheie: resist BARC outgassing, TD GC MS