Scopul nostru este sprijinirea şi promovarea cercetării ştiinţifice şi facilitarea comunicării între cercetătorii români din întreaga lume.
Staff Login
Premii Ad Astra
Asociația Ad Astra a anunțat câștigătorii Premiilor Ad Astra 2022: http://premii.ad-astra.ro/. Proiectul și-a propus identificarea și popularizarea modelelor de succes, a rezultatelor excepționale ale cercetătorilor români din țară și din afara ei.
Anisotropic etching of silicon in a complexant redox alkaline system
Domenii publicaţii > Chimie + Tipuri publicaţii > Articol în revistã ştiinţificã
Autori: Carmen MOLDOVAN, Rodica IOSUB, Dan DASCALU, Gheorghe NECHIFOR
Editorial: Elsevier, Sensors and Actuators B:Chemical, 58, p.438-449, 1999.
Rezumat:
This paper presents the results from the investigation of the chemicat anisotropic etching of single-cristal silicon <100> in the following solution: KOH, K3[Fe(CN)6]; K4[Fe(CN)6] and/or complexant added. The complexants added in KOH solution were: calix[n]arene, phenols and ether dibebzo-18-crown-6. The reaction mechanism, the etch rate, the roughness and hillocks are analysed.
Cuvinte cheie: Anisotropic etching, redox systems, organic complexants