Scopul nostru este sprijinirea şi promovarea cercetării ştiinţifice şi facilitarea comunicării între cercetătorii români din întreaga lume.
Domenii publicaţii > Fizica + Tipuri publicaţii > Articol în revistã ştiinţificã
Autori: A.K. Sharma, S.H. Zaidi, P.C. Logofatu and S.R.J. Brueck
Editorial: IEEE J. Quantum Elect., 38, p.1651-1660, 2002.
Rezumat:
Cuvinte cheie: litografie interferometrica, analiza riguroasa de unde cuplate, siliciu // Interferometric lithography, metal-semiconductor-
URL: http://ieeexplore.ieee.org/xpl/freeabs_all.jsp?isnumber=23645&arnumber=1088080&count=16&index=12