Scopul nostru este sprijinirea şi promovarea cercetării ştiinţifice şi facilitarea comunicării între cercetătorii români din întreaga lume.
Domenii publicaţii > Fizica + Tipuri publicaţii > Articol în revistã ştiinţificã
Autori: , R. Tiron, C. De Nadaï, C. Constancias, JY. Robic, JP Gouy
Editorial: Microelectronic Engineering, 83, 2006.
Rezumat:
Cuvinte cheie: ebeam lithographi, HSQ, EUV