Inscriere cercetatori

Effects of dimensional nanoscaling on the optical and electrical properties of crystalline Si thin films

Domenii publicaţii > Fizica + Tipuri publicaţii > Articol în revistã ştiinţificã

Autori: A. K. Sharma, P. C. Logofatu, C. S. Mayberry, S. R. J. Brueck and N. E. Islam

Editorial: Journal of Applied Physics, 101, 2007.

Rezumat:

Cuvinte cheie: dimensional nanoscaling, scatterometry