Inscriere cercetatori

The influence of nitrogen content on the properties of TiNx thin-films

Domenii publicaţii > Fizica + Tipuri publicaţii > Articol în revistã ştiinţificã

Autori: Munteanu, D., Vaz, F.

Editorial: Journal of Optoelectronics and Advanced Materials, vol. 8, No. 2/2006, p.720 - 725, 2006.

Rezumat:

Cuvinte cheie: Magnetron - sputtering, TiN, tribology, structure