Inscriere cercetatori

Mechanical dynamical analysis of ultra thin resist films for microlithography applications

Domenii publicaţii > Fizica + Tipuri publicaţii > Articol în volumul unei conferinţe

Autori: C. Petitdidier, R. Tiron, S. Derrough, C. Sourd, L. Koscianski, and B. Mortini

Editorial: Proc SPIE, 2007.

Rezumat:

Cuvinte cheie: resist thermal behavoiur, glass transition