Scopul nostru este sprijinirea şi promovarea cercetării ştiinţifice şi facilitarea comunicării între cercetătorii români din întreaga lume.
Domenii publicaţii > Fizica + Tipuri publicaţii > Articol în revistã ştiinţificã
Autori: R. Tiron, L. Mollard, O. Louveau, E. Lajoinie
Editorial: J. Vac. Sci. Technol. B , 25, 2007.
Rezumat:
Cuvinte cheie: HSQ, ebeam lithographie