Inscriere cercetatori

Asociatia Ad Astra a cercetatorilor romani lanseaza BAZA DE DATE A CERCETATORILOR ROMANI DIN DIASPORA. Scopul acestei baze de date este aceea de a stimula colaborarea dintre cercetatorii romani de peste hotare dar si cu cercetatorii din Romania. Cercetatorii care doresc sa fie nominalizati in aceasta baza de date sunt rugati sa trimita un email la cristian.presura@gmail.com

193nm resist deprotection study from outgassing measurements by TD-GCMS/FID

Domenii publicaţii > Stiinte ingineresti + Tipuri publicaţii > Articol în volumul unei conferinţe

Autori: Raluca Tiron, Samir Derrough, Hervé Fontaine, Sylviane Cetre, Damien Perret, James W. Thackeray, Patrick Paniez

Editorial: Proc. SPIE, 7545, p.75450G , 2010.

Rezumat:

Cuvinte cheie: 193 nm lithography, outgazing, TD-GCMS, resist deprotection

URL: http://dx.doi.org/10.1117/12.863150