Inscriere cercetatori

Asociatia Ad Astra a cercetatorilor romani lanseaza BAZA DE DATE A CERCETATORILOR ROMANI DIN DIASPORA. Scopul acestei baze de date este aceea de a stimula colaborarea dintre cercetatorii romani de peste hotare dar si cu cercetatorii din Romania. Cercetatorii care doresc sa fie nominalizati in aceasta baza de date sunt rugati sa trimita un email la cristian.presura@gmail.com

Continuous evolution of lithographic films through process steps: an example with 193 chemically amplified resists

Domenii publicaţii > Stiinte ingineresti + Tipuri publicaţii > Articol în volumul unei conferinţe

Autori: Samir Derrough, Raluca Tiron, and Claire Sourd, Damien Perret, James W. Thackeray, Patrick Paniez

Editorial: Proc. SPIE, 7639, p.763937, 2010.

Rezumat:

Cuvinte cheie: 193 nm lithography, resist deprotection

URL: http://dx.doi.org/10.1117/12.846087